Руководство содержит описание четырёх лабораторных работ по технологии обработки изделий микроэлектроники различного вида излучениями. В описании к первой лабораторной работе приводятся теория и технология лазер­ных методов обработки. Во второй и третьей ла­бораторных работах рассматриваются теория и технологии обработки изделий микроэлектрони­ки некогерентными излучениями, в четвёртой лабораторной работе рассматриваются теория и технология электронно-лучевой обработки изде­лий микроэлектроники.

Руководство может использоваться студента­ми при изучении курсов: «Технология РЭС», «Технология ЭВС», «Технология микросхем», «Технология микросистем», «Технологические процессы микро- и нано-электроники», «Специальные вопросы технологии РЭС».

Руководство содержит таблиц - 2, иллюстра­ций -10, библиографический список - 9 названий.