Руководство к лабораторным работам по курсу «Технологические процессы микро- и наноэлектроники»

Наумченко А.С.; Светличный А.М.

Руководство к лабораторным работам по курсу «Технологические процессы микро- и наноэлектроники»

Наумченко А.С. , Светличный А.М.

В сборнике содержатся описания трех лабораторных работ по изучению технологических процессов изготовления микро-электронных изделий: окисления кремния, фотолитографии и создания выводов ИМС. Рассматриваются технологические особенности изучаемых технологических процессов. Приводится описание используемого технологического оборудования.

В руководстве содержится 10 таблиц, 15 иллюстраций и 8 наименований библиографических источников.

Библиографическая ссылка

Наумченко А.С., Светличный А.М. РУКОВОДСТВО К ЛАБОРАТОРНЫМ РАБОТАМ ПО КУРСУ «ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ» // Международный журнал прикладных и фундаментальных исследований. 2009. № 3. С. 109-0;
URL: https://www.applied-research.ru/article/view?id=37 (дата обращения: 22.08.2026).